野王,日本xxxx片免费观看,丁香五月婷婷亚洲,六月丁香婷婷大团结

安全管理網(wǎng)

半導(dǎo)體安全與環(huán)保管理

  
評(píng)論: 更新日期:2018年09月27日

要做好半導(dǎo)體業(yè)的環(huán)保安全衛(wèi)生管理工作,首先必需要了解半導(dǎo)體整體產(chǎn)業(yè)的特性,基本上半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有三大產(chǎn)業(yè)特性,第一是資本密集、第二是技術(shù)密90 集,第三則是產(chǎn)業(yè)的變動(dòng)性很大,故因應(yīng)此產(chǎn)業(yè)的三大特性,相對(duì)衍生出以下幾點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)況對(duì)工安環(huán)保人員來(lái)說(shuō)相當(dāng)重要并且必需密切注意,第一個(gè)部份是關(guān)于設(shè)備機(jī)臺(tái)方面,因?yàn)楫a(chǎn)業(yè)資本密集所以廠房?jī)?nèi)的設(shè)備機(jī)臺(tái)不只種類及數(shù)量繁多而且區(qū)域集中,第二個(gè)部份由于半導(dǎo)體技術(shù)密集復(fù)雜,所以運(yùn)用于機(jī)臺(tái)的原物料化學(xué)品的種類多樣且相對(duì)特性相當(dāng)?shù)膹?fù)雜且變動(dòng)性大,會(huì)對(duì)整體的環(huán)保與安全管理上產(chǎn)生影響、第三則是因?yàn)楫a(chǎn)業(yè)的變動(dòng)性大,所以制程技術(shù)的變動(dòng)頻率就相對(duì)性的增高,而也造成很多現(xiàn)場(chǎng)不管是環(huán)?;虬踩芸厣厦娴膹?fù)雜度,另外同樣因應(yīng)產(chǎn)業(yè)性變動(dòng)大,半導(dǎo)體廠里面的人員,包括員工以及設(shè)備與工程承攬商的人數(shù)就相當(dāng)眾多,造成整個(gè)人員及工程管理的接口變得十分的復(fù)雜。
大體而言半導(dǎo)體業(yè)依制程的先后順序,整體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可分成以下幾個(gè)階段,包括第一個(gè)階段為「晶圓材料制造」,第二個(gè)階段為「集成電路制造」,及第三個(gè)階段則是「封裝測(cè)試的制程」,在這三個(gè)制程里面,以集成電路制造最復(fù)雜且涵蓋面最廣,所以以下的課程內(nèi)容,基本上是針對(duì)集成電路制造這樣一個(gè)比較復(fù)雜的制程結(jié)構(gòu)做相關(guān)課程的介紹. 針對(duì)集成電路制造,一般而言可以將制程概分成四大部份,第一個(gè)部份是擴(kuò)散制程,第二個(gè)部份是黃光制程,第三個(gè)部份是薄膜制程,第四個(gè)部份是蝕刻制程,各制程的細(xì)部功能,請(qǐng)各位同學(xué)參考半導(dǎo)體制造的相關(guān)數(shù)據(jù),以下我們則會(huì)針對(duì)于這四大制程它所有帶來(lái)的安全與環(huán)保相關(guān)的議題來(lái)做介紹探討。
要妥善進(jìn)行半導(dǎo)體業(yè)的安全與環(huán)保管理,要先對(duì)在制程區(qū)域的潛在安全危害有所了解,我們首先談到的是擴(kuò)散制程,在擴(kuò)散制程中因?yàn)橹瞥绦枰獣?huì)使用到許多的酸堿、有機(jī)、以及具有刺激性或是具有毒性的氣/液態(tài)化學(xué)品,這些化學(xué)物質(zhì)在制程使用的過(guò)程中會(huì)對(duì)作業(yè)環(huán)境及作業(yè)相關(guān)人員帶來(lái)可能的危害,包括酸堿溶液及有機(jī)溶劑所產(chǎn)生的腐蝕、不兼容反應(yīng)、易燃、引火爆炸及吸入性傷害等,另外制程的需要使用的刺激性及具毒性的氣體亦會(huì)對(duì)人員造成傷害,當(dāng)然前面所提到使用的化學(xué)品是具易燃易爆的特性,所帶來(lái)的火災(zāi)燃燒危害亦是必需相當(dāng)注意的重點(diǎn),此外機(jī)臺(tái)設(shè)施運(yùn)轉(zhuǎn)可能帶來(lái)的高溫?傷,或是機(jī)臺(tái)設(shè)備運(yùn)作所產(chǎn)生的噪音、機(jī)臺(tái)設(shè)備維修及搬運(yùn)相關(guān)的設(shè)施所帶來(lái)的人因工程上的危害,以及部份機(jī)臺(tái)產(chǎn)生游離輻射所帶來(lái)的危害,都是必需了解界定的;至于黃光制程的部份則主要是使用光阻液、去光阻劑等有機(jī)溶劑所衍生的可能危害,另外對(duì)于機(jī)臺(tái)本身,一樣的因?yàn)闄C(jī)臺(tái)過(guò)于密集,機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生的噪音以及維修及運(yùn)作過(guò)程可能造成的人因工程的危害也是必需加以考慮。
至于在薄膜制程的部份,也因?yàn)檫@個(gè)制程的特性,會(huì)有以下幾點(diǎn)危害需特別注意,包括刺激性及有毒性的氣體、制程作用產(chǎn)生的金屬熏煙及氧化物逸散,造成人員的吸入性危害,另外如酸堿溶液,游離輻射、噪音、人因工程以及火災(zāi)爆炸都是在薄膜制程可能會(huì)對(duì)人員及環(huán)境產(chǎn)生危害;另外還有蝕刻制程,刺激性及具有毒性的氣體酸堿溶液及人因工程是這個(gè)制程常見(jiàn)的危害。
剛才介紹的基本上都是所謂制程區(qū)的危害,但在整個(gè)半導(dǎo)體廠除了主要的制程區(qū)外,還有附屬設(shè)施區(qū)域,這些附屬設(shè)施區(qū)域包括有廠務(wù)設(shè)施的部份,也包括聯(lián)接機(jī)臺(tái)的幫浦及尾氣處理設(shè)備所放置的區(qū)域,在這些區(qū)域主要是提供機(jī)臺(tái)設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)所需的用水、用電、氣體、化學(xué)品及機(jī)臺(tái)反應(yīng)后端的廢氣及廢液處理,可能產(chǎn)生的危害包括在廠務(wù)電力供應(yīng)設(shè)施可能會(huì)有高壓電力感電的危害,廠務(wù)設(shè)施中許多高溫運(yùn)作設(shè)備如鍋爐等可能會(huì)有的高溫危害,另外廠務(wù)設(shè)施中的緊急發(fā)電機(jī)、動(dòng)態(tài)不斷電系統(tǒng)、冰水主機(jī)以及馬達(dá)等設(shè)施設(shè)備都是半導(dǎo)體廠里面噪音危害的主要來(lái)源,當(dāng)然從廠務(wù)設(shè)施的供應(yīng)給制程機(jī)臺(tái)使用的酸、堿、有機(jī)化學(xué)品以及經(jīng)過(guò)機(jī)臺(tái)設(shè)備反應(yīng)以后所產(chǎn)生的所謂廢液,在傳送供應(yīng)的的過(guò)程中可能從供應(yīng)設(shè)施及管線產(chǎn)生泄露,而對(duì)人員與環(huán)境產(chǎn)生相關(guān)危害,同樣的由廠務(wù)供應(yīng)的具刺激性及毒性的氣體亦可能泄漏因而產(chǎn)生危害,另外因應(yīng)運(yùn)作需求,廠務(wù)端亦會(huì)供應(yīng)大宗氣體如氮?dú)猓?dāng)在非開(kāi)放空間的工作區(qū)域內(nèi),發(fā)生上述氣體的大量泄漏時(shí),會(huì)造成這個(gè)區(qū)域空間里面氧濃度過(guò)低的狀況,因此產(chǎn)生窒息性的危害。另外在放置聯(lián)接制程機(jī)臺(tái)的幫浦及尾氣處理設(shè)施的區(qū)域,制程反應(yīng)所產(chǎn)生的反應(yīng)物包括氣體或粉末,在維修設(shè)備或是管線遭受腐蝕產(chǎn)生泄漏,亦同樣對(duì)人員產(chǎn)生吸入性或接觸性的危害。
談完制程區(qū)域跟非制程區(qū)域安全危害的特性之后,我們?cè)賮?lái)介紹在整個(gè)半導(dǎo)體廠里面制程環(huán)境污染的特性,前面提過(guò)在半導(dǎo)體廠內(nèi)使用許多不同種類特性的化學(xué)品、特殊氣體及有機(jī)溶劑,所以在制程末端就會(huì)產(chǎn)生相對(duì)性的污染排放,在空氣污染的部份包括酸性廢氣的污染,堿性廢氣的污染,當(dāng)然也包括可燃性與有毒性的廢氣以及有機(jī)性廢氣的產(chǎn)生,在廢水方面,根據(jù)制程原物料的特性,在半導(dǎo)體業(yè)廢水大概分成下述幾類似,第一類是因?yàn)槭褂么罅康乃釅A化學(xué)品產(chǎn)生的酸堿廢水,另外在半導(dǎo)體廠因?yàn)槭褂么罅康臍浞幔瑸槟茚槍?duì)其特性加以妥善處理,會(huì)在制程產(chǎn)出端加以分流,另外收集以利處理,所以也會(huì)有含氟廢水的部份,另外在半導(dǎo)體制程中包括有晶背研磨制程,制程中會(huì)加入研磨液產(chǎn)生研磨廢水有些公司為方便后端處理亦會(huì)另外收集,還有負(fù)責(zé)半導(dǎo)體封裝測(cè)試的工廠在制程中會(huì)使用如含有銅,鉻等重金屬的化學(xué)原料,所以會(huì)產(chǎn)生含重金屬?gòu)U水。
在廢棄物的部份,基本上因應(yīng)前端制程所使用到的的化學(xué)品,考慮濃度及成份,為能進(jìn)行妥善的處理或是回收使用,不將之直接排入廢水中而另外加以收集,故會(huì)有廢酸液、廢堿液、廢溶劑之產(chǎn)生,而廢水廠因?yàn)樘幚碇瞥虖U水,利用生物處理或是物化處理后,亦會(huì)產(chǎn)生廢水處理污泥;另外設(shè)施設(shè)備維修更換的報(bào)廢零組件,廢棄破損的晶圓IC及含金屬成份的下腳料件,都是屬于法令規(guī)定廢五金的范圍,至于進(jìn)出貨品所產(chǎn)生的一些廢包裝材,人員活動(dòng)所產(chǎn)生的生活或辦公性的垃圾,亦都屬于工廠廢棄物的范疇。 除此之外廠務(wù)設(shè)施中有許多大型會(huì)發(fā)出噪音的設(shè)施設(shè)備包括緊急發(fā)電機(jī)、動(dòng)態(tài)不斷電系統(tǒng)、冰水主機(jī)等它都會(huì)相對(duì)于環(huán)境產(chǎn)生噪音的污染,另外在半導(dǎo)體廠里面輸送原物料的管線、排放廢液的管線或是后端廢水廠的相關(guān)管線與儲(chǔ)槽發(fā)生長(zhǎng)期或瞬間大量泄露時(shí),也可能會(huì)造成地下水或是土壤的污染。
介紹完半導(dǎo)體廠中在制程區(qū)或非制程區(qū)所常見(jiàn)的一些安全危害或是環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)之后,我們從風(fēng)險(xiǎn)管理的角度來(lái)看一看現(xiàn)在企業(yè)所面臨到的風(fēng)險(xiǎn),由這張投影片上面我們可以看到現(xiàn)在企業(yè)所面臨的風(fēng)險(xiǎn)涵蓋范圍十分廣泛,包括外部及內(nèi)部、商業(yè)以及非商業(yè)的風(fēng)險(xiǎn),外部風(fēng)險(xiǎn)包括科技、專利、財(cái)務(wù)、投資、形象信譽(yù)、法令、市場(chǎng)變動(dòng)等,當(dāng)然環(huán)保與員工健康及生命安全是風(fēng)險(xiǎn)考慮中相當(dāng)重要的一環(huán),在這樣的一個(gè)復(fù)雜的風(fēng)險(xiǎn)環(huán)境下,不同于其它產(chǎn)業(yè)的地方,基本上我們從風(fēng)險(xiǎn)管理的角度考慮半導(dǎo)體業(yè)的安全與環(huán)境的管理機(jī)制,所以下面會(huì)針對(duì)風(fēng)險(xiǎn)管理的基本概念做初淺介紹。
一般來(lái)說(shuō)在整個(gè)風(fēng)險(xiǎn)管理的程序上,大概分成幾個(gè)步驟跟順序,第一個(gè)步驟是建立風(fēng)險(xiǎn)管理的基本信息,這個(gè)部份包括了管理的組織/策略/標(biāo)準(zhǔn)以及整體的管理機(jī)制,建立了基本信息后,開(kāi)始會(huì)進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)辨識(shí)的工作,針對(duì)企業(yè)或整體環(huán)境中可能遭遇的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行有系統(tǒng)的辨識(shí)與搜集,再來(lái)則會(huì)針對(duì)風(fēng)險(xiǎn)辨識(shí)搜集到的相關(guān)信息進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)分析,一般而言風(fēng)險(xiǎn)高低的程度是依照事件的發(fā)生機(jī)率以及它的后果嚴(yán)重度來(lái)評(píng)估,所以在分析時(shí)應(yīng)先針對(duì)事件發(fā)生機(jī)率及嚴(yán)重度進(jìn)行程度上的定義,再據(jù)以分析經(jīng)過(guò)辨識(shí)搜集的信息,并加以匯整排序,之后則針對(duì)風(fēng)險(xiǎn)高低設(shè)立風(fēng)險(xiǎn)等級(jí),將之前的分析結(jié)果依等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)加以區(qū)分,然后依各公司之認(rèn)知與可承受風(fēng)險(xiǎn)的程度,進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)接受度分析,如果評(píng)斷某一事件是屬于可以被接受的風(fēng)險(xiǎn),那就會(huì)采取定期監(jiān)督與檢討的機(jī)制,來(lái)確認(rèn)風(fēng)險(xiǎn)的變動(dòng)都是在可接受的范圍,如果判定不是可以被接受的風(fēng)險(xiǎn),則會(huì)進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)控制的手段,將風(fēng)險(xiǎn)管控到可被接收的程度再將之納入定期監(jiān)督與檢討的機(jī)制中,當(dāng)然在整個(gè)風(fēng)險(xiǎn)管理各步驟中必需要適時(shí)運(yùn)用溝通與協(xié)調(diào)的機(jī)制,來(lái)讓整個(gè)風(fēng)險(xiǎn)管理程序能夠達(dá)到一個(gè)完整且動(dòng)態(tài)的循環(huán)。
由前一張投影片可知,當(dāng)某一事件之風(fēng)險(xiǎn)超過(guò)可被接收的程度時(shí),就必須透過(guò)風(fēng)險(xiǎn)控制的步驟將風(fēng)險(xiǎn)控制在可被接受的范圍內(nèi),所以這里針對(duì)風(fēng)險(xiǎn)控制做進(jìn)一步介紹,在風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估分析之后會(huì)進(jìn)行所謂的風(fēng)險(xiǎn)接受度分析,剛才已經(jīng)介紹過(guò)了如果是風(fēng)險(xiǎn)接受度分析覺(jué)得是可被接受的,當(dāng)然就會(huì)繼續(xù)的監(jiān)督及檢討,如果是不可被接受的時(shí)侯,會(huì)采用風(fēng)險(xiǎn)控制的步驟,一般來(lái)說(shuō),風(fēng)險(xiǎn)控制的方式概分成四大類:第一是降低風(fēng)險(xiǎn)的可能性,第二是降低后果的嚴(yán)重度,第三是風(fēng)險(xiǎn)轉(zhuǎn)移,大家比較熟知的是進(jìn)行保險(xiǎn)規(guī)劃,第四是避免風(fēng)險(xiǎn),透過(guò)這四種方式的考慮之后,會(huì)開(kāi)始做風(fēng)險(xiǎn)控制的評(píng)估,這個(gè)部份包括可行性及優(yōu)勢(shì)的分析,建議處理的策略以及選擇最佳的處理策略,然后才會(huì)進(jìn)行規(guī)劃處理計(jì)劃以及執(zhí)行處理方案,進(jìn)行控制后再次進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)接受度分析,如果經(jīng)過(guò)分析風(fēng)險(xiǎn)是可以被接受的,則持續(xù)執(zhí)行,并加入定期監(jiān)督與檢討機(jī)制中,如果經(jīng)過(guò)分析之后風(fēng)險(xiǎn)還是不可以被接受,就再重復(fù)做風(fēng)險(xiǎn)控制分析的步驟,一直到所有分析出來(lái)的結(jié)果是可以被控制的。
整個(gè)風(fēng)險(xiǎn)控制的手段與方式,從這張投影片上面可以很明確的看出來(lái),從消除風(fēng)險(xiǎn)到降低風(fēng)險(xiǎn)到最后的個(gè)人防護(hù),是一個(gè)階層一個(gè)階層的動(dòng)作,舉例來(lái)說(shuō)在半導(dǎo)體業(yè)針對(duì)具危害性制程物質(zhì)的引入,我們會(huì)從評(píng)估這樣的一個(gè)危害性物質(zhì)是否有必要使用或是可否使用危害性較低的物質(zhì)進(jìn)行替代,若無(wú)法進(jìn)行則評(píng)估是否利用修改程序來(lái)減輕它的危害性或是隔離人員與危害,進(jìn)而局限危害到最后用工程技術(shù)或是行政管理機(jī)制來(lái)做管控,最后再進(jìn)行個(gè)人防護(hù)作人員防護(hù)的最后一道保障,用這樣一層又一層的風(fēng)險(xiǎn)控制手段,來(lái)保障在半導(dǎo)體業(yè)工作的同仁的個(gè)人安全健康也同時(shí)保障所謂的環(huán)境的安全。
 
?

網(wǎng)友評(píng)論 more
創(chuàng)想安科網(wǎng)站簡(jiǎn)介會(huì)員服務(wù)廣告服務(wù)業(yè)務(wù)合作提交需求會(huì)員中心在線投稿版權(quán)聲明友情鏈接聯(lián)系我們