本文件規(guī)定了工業(yè)用氮中硅烷混合氣體的制備方法、試驗方法，確立了檢驗規(guī)則，規(guī)定了混合氣體的技術(shù)要求、標(biāo)志、包裝、儲存及安全信息的要求。
本文件適用于由電子工業(yè)用硅烷和高純氮（或超純氮）為原料制備的混合氣體。