本文件規(guī)定了氦氣純化器的術(shù)語和定義、型號、基本參數(shù)、要求、性能參數(shù)測定、檢驗(yàn)規(guī)則、出廠資料、標(biāo)識、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本文件適用于采用液氮為低溫冷源的氦氣純化器。