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光學(xué)功能薄膜 微結(jié)構(gòu)厚度測(cè)試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 42674-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)樂(lè)凱集團(tuán)有限公司、合肥樂(lè)凱科技產(chǎn)業(yè)有限公司、衡山縣佳誠(chéng)新材料有限公司 等
發(fā)布日期： 2023-08-06
實(shí)施日期： 2024-03-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年12月18日
內(nèi)容摘要

本文件描述了通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM)檢測(cè)光學(xué)功能薄膜橫截面微結(jié)構(gòu)厚度(以下簡(jiǎn)稱橫截面厚度)的方法。
本文件適用于厚度不小于50 nm的光學(xué)功能薄膜的單層或多層結(jié)構(gòu)的厚度測(cè)試。????

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