本文件描述了常用的物理氣相沉積(PVD)法制備的多層硬質(zhì)涂層的成分、結(jié)構(gòu)和性能的評(píng)價(jià)方法。本文件適用于利用真空沉積法如蒸發(fā)、濺射或相關(guān)的非化學(xué)方法制備產(chǎn)生的涂層材料。