本文件界定了以光柵特征與標(biāo)稱(chēng)位置偏差來(lái)解釋光柵的全局和局部質(zhì)量參數(shù)的通用術(shù)語(yǔ)，并提供了測(cè)定參數(shù)所用的測(cè)量與評(píng)價(jià)方法分類(lèi)的指南，以及在納米技術(shù)的不同應(yīng)用領(lǐng)域保證生產(chǎn)和使用光柵質(zhì)量的指南。