本部分規(guī)定了用于定期驗證和調(diào)整區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)測量儀器的實物測量標準的特性。
本部分適用于基于區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)標準鏈，鏈環(huán)G定義的輪廓表面結(jié)構(gòu)和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測量儀器的計量特性校準的測量標準。