本文件依據(jù)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中具體化學物質(zhì)（種、組或類）的濃度，對空氣化學污染進行分級。同時，本文件分級技術(shù)要求，給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權(quán)系數(shù)在內(nèi)的規(guī)程。
本文件目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中100g/m3～10-12g/m3的化學污染物濃度。
本文件不涉及那些空氣中雖有化學物質(zhì)存在、但不認為對產(chǎn)品或工藝有危害風險的行業(yè)、工藝和生產(chǎn)。
本文件無意探討空氣化學污染物的特性。
本文件不包含對表面化學污染的分級。
