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本標準規(guī)定了電真空器件氫氣爐能源消耗評價指標、等級要求和計算方法。 本標準適用于電子行業(yè)各企業(yè)電真空器件生產運行中工藝溫度在700℃~1600℃的退火、釬焊和陶瓷金屬化等工序使用的內熱式電阻加熱器、全金屬隔熱屏、氫氣保護的間歇式電爐。