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x射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報告

標 準 號： GB/T 36053-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
起草單位： 中國計量科學研究院
發(fā)布日期： 2018-03-15
實施日期： 2019-02-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年05月11日
內(nèi)容摘要

本方法使用單色化的平行光進行角度或散向矢量掃描。

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