本標準適用于微系統(tǒng)用生產設備，規(guī)定了微系統(tǒng)生產設備中末端執(zhí)行器和操縱系統(tǒng)之間的接口要求，以及手動和自動更換的末端執(zhí)行器的基本偏差、公差和標識。其目的是隨著規(guī)格的增大在三個層面上規(guī)定末端執(zhí)行器接口。
三等標準金屬線紋尺航測儀器整機精度檢定規(guī)程滾動軸承 零件碳氮共滲 熱處理技術規(guī)范地熱回灌過濾裝置技術要求全球地理信息資源 數據產品規(guī)范無人機航空攝影成果質量檢查與驗收水電工程啟閉機設計規(guī)范 第4部分：液…高原用移動式現場煤油氣相干燥設備的…
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