本標(biāo)準(zhǔn)適用于微系統(tǒng)用生產(chǎn)設(shè)備，規(guī)定了微系統(tǒng)生產(chǎn)設(shè)備中末端執(zhí)行器和操縱系統(tǒng)之間的接口要求，以及手動(dòng)和自動(dòng)更換的末端執(zhí)行器的基本偏差、公差和標(biāo)識(shí)。其目的是隨著規(guī)格的增大在三個(gè)層面上規(guī)定末端執(zhí)行器接口。