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精密硅片磨床完好要求和檢查評定方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ/T 31096-1994
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國電子工業(yè)部
起草單位： 上海市儀表電訊工業(yè)局
發(fā)布日期： 1994-04-15
實(shí)施日期： 1994-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年12月03日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了精密硅片磨床的完好要求與檢查、評定方法。


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