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光學(xué)元件表面疵病定量檢測(cè)方法 顯微散射暗場(chǎng)成像法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 41805-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 江蘇皇冠新材料科技有限公司、福建福特科光電股份有限公司
發(fā)布日期: 2022-10-12
實(shí)施日期: 2023-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2023年01月25日
內(nèi)容摘要

本文件描述了采用顯微散射暗場(chǎng)成像法對(duì)光學(xué)元件表面疵病進(jìn)行定量檢測(cè)的檢測(cè)原理、試驗(yàn)條件、
儀器設(shè)備、樣品、檢測(cè)步驟和試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理和檢測(cè)報(bào)告。
本文件適用于平板類雙面拋光光學(xué)元件表面疵病的長(zhǎng)度、寬度、擋光面積以及疵病位置檢測(cè)。

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