產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS） 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第604部分：非接觸（相干掃描干涉）式儀器的標(biāo)稱特性
標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 33523.604-2022
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 清華大學(xué)、天津大學(xué)、廈門市計量檢定測試院、江蘇銳精光電研究院有限公司
發(fā)布日期： 2022-12-30
實施日期： 2023-04-01
