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產品幾何技術規(guī)范 (GPS) 表面結構 區(qū)域法 第602部分:非接觸 (共聚焦色差探針) 式儀器的標稱特性

標 準 號: GB/T 33523.602-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 廣東錦亞科技有限公司、陜西潤正檢測科技有限公司、浙江昂華新材料有限公司等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實施日期: 2023-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年04月05日
內容摘要

本文件規(guī)定了使用基于白光軸向色散特性的共聚焦色差探針測量表面結構的非接觸式儀器的設計與計量特性。

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