本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。
掃描探針顯微鏡根據(jù)其設計原理不同,校準時需要根據(jù)實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務,如對溯源要求較高的測量,不在本校準規(guī)范的適用范圍。