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真空技術(shù) 真空計(jì) 熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 42604-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 湖南維格磁流體股份有限公司、淄博市計(jì)量技術(shù)研究院、廣州涂氏精怡科技有限公司等
發(fā)布日期: 2023-05-23
實(shí)施日期: 2023-05-23
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更新日期: 2023年10月27日
內(nèi)容摘要

本文件定義了與熱陰極電離真空計(jì)相關(guān)的術(shù)語,并規(guī)定熱陰極電離真空計(jì)制造商要給出的具體參數(shù),以及在操作這些儀表時(shí),需要考慮的測量不確定度分量。原因如下。
a) 本文件更新了ISO 3529-3:1981中給出的一些術(shù)語和定義。
b) 熱陰極電離真空計(jì)通常用作參考標(biāo)準(zhǔn),本文件為適用的實(shí)驗(yàn)室明確規(guī)定了便于在高真空和超高真空下正確校準(zhǔn)真空計(jì)的相關(guān)信息。使用電離真空計(jì)開展高真空和超高真空的可溯源壓力測量時(shí),適于在制造商說明書中引述含有真空計(jì)相關(guān)參數(shù)和特征的信息。
c) 本文件還列出了與電離真空計(jì)壓力測量相關(guān)的重要的不確定度分量,也給出了這些不確定度分量的評(píng)估指南。對(duì)于某些當(dāng)前或未來的真空計(jì)來說,不確定度分量的清單可能并不全面。
d) 將電離真空計(jì)用作參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí),本文件是對(duì)ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的補(bǔ)充。

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