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電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 29658-2013
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 有研億金新材料股份有限公司
發(fā)布日期: 2013-09-06
實(shí)施日期: 2014-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年02月12日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、存貯、訂貨單(或合同)等內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡稱鋁靶)。

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