本標準規(guī)定了硅片邊緣輪廓（包含切口）的檢驗方法。
本標準適用于檢驗倒角硅片的邊緣輪廓（包含切口），砷化鎵等其他材料晶片邊緣輪廓的檢驗可參照本標準執(zhí)行。
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