本文件規(guī)定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的牌號及分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于生產(chǎn)電力電子器件、射頻微波器件及LED發(fā)光器件的外延材料用碳化硅單晶拋光片。
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