本文件規(guī)定了金及金合金靶材的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體電子器件用金及金合金靶材。