本文件規(guī)定了碳化硅外延片的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運輸與貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。
本文件適用于在導(dǎo)電型碳化硅襯底上，生長碳化硅同質(zhì)外延層的外延片，產(chǎn)品用于制作碳化硅電力電子器件。