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異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): T/CPIA 0065-2024
替代情況:
發(fā)布單位: 中國光伏行業(yè)協(xié)會(huì)
起草單位: 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司、隆 基綠能科技股份有限公司
發(fā)布日期: 2024-03-10
實(shí)施日期: 2024-03-15
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更新日期: 2024年07月19日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了本征薄膜異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備(以下簡(jiǎn)稱“PECVD設(shè)備”)的術(shù)語和定義、工作環(huán)境、設(shè)備要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存等。


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