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光刻用石英玻璃晶圓

標 準 號: GB/T 34177-2017
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中國建材檢驗認證集團股份有限公司、中建材衢州金格蘭石英有限公司、長沙韶光鉻版有限公司
發(fā)布日期: 2017-09-07
實施日期: 2018-08-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年12月11日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了光刻用石英玻璃晶圓(以下簡稱石英玻璃晶圓)的術語和定義、分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統(tǒng)(MEMS)、光電器件和發(fā)光二極管(LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。

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