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電子工業(yè)用氣體 三氯化硼

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 17874-2010
替代情況: 替代 GB/T 17874-1999
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 西南化工研究設(shè)計(jì)院、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計(jì)院
發(fā)布日期: 2011-04-01
實(shí)施日期: 2011-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2012年10月15日
內(nèi)容摘要

      本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氯化硼的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。 
      本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料,采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼,主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。

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