本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS壓阻式壓力敏感芯片（簡稱壓力敏感芯片）的術(shù)語和定義、試驗條件、試驗的一般規(guī)定、試驗內(nèi)容和方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于閉環(huán)和開環(huán)MEMS壓阻式壓力敏感芯片性能的圓片級試驗。