本標準規(guī)定了MEMS電場傳感器(以下簡稱“傳感器”)的原材料、結(jié)構(gòu)組成、技術(shù)要求、試驗項目和方法、檢驗規(guī)則、包裝、存儲和運輸。
本標準適用于MEMS電場傳感器的研制、生產(chǎn)和采購。其他類型的電場傳感器可參照使用。