本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS慣性器件敏感芯片電參數(shù)在片測試的人員、環(huán)境、安全、設(shè)備和儀器的一般要求，以及測試流程、測試準(zhǔn)備、測試系統(tǒng)連接、參數(shù)測試等詳細(xì)要求。