本文件描述了微透鏡陣列中微透鏡波前像差測試的測試裝置及設(shè)備、測試前準(zhǔn)備、測試原理及測試程序等內(nèi)容。
本文件適用于在共同基底的內(nèi)部或一個(gè)或多個(gè)表面上形成的由非常小的透鏡組成的微透鏡陣列的波前像差測試。