本文件依據(jù)半導(dǎo)體器件對(duì)規(guī)定的機(jī)器模型(MM)靜電放電(ESD)所造成損傷或退化的敏感度，建立了半導(dǎo)體器件ESD測(cè)試和分級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)程序。
本文件相對(duì)于人體模型ESD，用作一種可選的測(cè)試方法，目的是提供可靠、可重復(fù)的ESD測(cè)試結(jié)果，以此進(jìn)行準(zhǔn)確分級(jí)。
本文件適用于半導(dǎo)體器件，屬于破壞性試驗(yàn)。半導(dǎo)體器件的ESD測(cè)試從本文件、人體模型(HBM見(jiàn)GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他測(cè)試方法中選擇。MM與HBM測(cè)試的結(jié)果相似但不完全相同。除另有規(guī)定外，HBM測(cè)試方法為所選方法。