摘要
??????? 半導(dǎo)體業(yè)對(duì)臺(tái)灣整體市場(chǎng)影響力非常大，集成電路制造過(guò)程使用非常多化學(xué)
??????? 品及有害氣體，主要設(shè)備單位包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、Dry Etch、
??????? Wet Etch、Photo。為了讓工安人員、設(shè)備人員能夠充分的了解在FAB 內(nèi)所處之
??????? 工作環(huán)境及在工作時(shí)需特別注意之安全事項(xiàng)，茲將設(shè)備人員所負(fù)責(zé)之機(jī)臺(tái)及該注
??????? 意之安全事項(xiàng)，加以匯整說(shuō)明，以確實(shí)加強(qiáng)改善半導(dǎo)體廠設(shè)備工程師人員之安
??????? 全，避免人員意外事件發(fā)生。
??????? 一、工作安全之基本觀念
??????? 一般工作現(xiàn)場(chǎng)中主要安全基本觀念包括以下數(shù)點(diǎn)：
??????? （一）安全是工作的一部份，我們有義務(wù)要把安全做好。
??????? （二）依據(jù)國(guó)際安全評(píng)分系統(tǒng)(ISRS)所統(tǒng)計(jì)之意外事故比率：
??????? 每６００件虛驚事故，就會(huì)伴隨３０件財(cái)物損失之事故，并產(chǎn)生１０件輕
??????? 微傷害事故，最后可能產(chǎn)生１件嚴(yán)重傷害事故。
??????? （三）任何意外事故發(fā)生，均是由日常工作中不安全的行為或不安全的環(huán)境所造
??????? 成。
??????? （四）落實(shí)安全管理是主管的必修課程，不是在事后補(bǔ)救；預(yù)防勝于治療。
??????? （五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必須有百分之百的把握，
??????? 你所做的任何行為或動(dòng)作沒(méi)有任何安全顧慮。所有工作人員，都必須有預(yù)
??????? 知危險(xiǎn)之危機(jī)意識(shí)。
??????? （六）從事任何工作，你首先要考慮的是你自己本身的安全，再來(lái)是周遭的人身
??????? 安全，其次才是機(jī)臺(tái)與產(chǎn)品的安全。
??????? （七）擔(dān)任維修及保養(yǎng)工作時(shí)，若你發(fā)現(xiàn)你不夠清楚，請(qǐng)立即停止進(jìn)行中的工作。
??????? （八）凡事務(wù)必遵守標(biāo)準(zhǔn)程序(SOP、PM Procedure、Trouble Shooting Guide)。
??????? 從事特定維修工作，請(qǐng)確實(shí)按照規(guī)定穿著標(biāo)準(zhǔn)防護(hù)用具。
??????? 二、設(shè)備人員維修/保養(yǎng)工作通則
??????? 半導(dǎo)體廠中設(shè)備人員維修、保養(yǎng)時(shí)易造成人員安全疑慮，因此凡于無(wú)塵室內(nèi)
??????? 從事PM 及維修工作時(shí)，均應(yīng)遵守下列規(guī)定事項(xiàng)，以確保安全且整齊之高質(zhì)量工
??????? 作環(huán)境。
??????? (一)安全事項(xiàng)：
??????? 1、任何操作均以安全為第一考慮。
??????? 2、設(shè)備維修時(shí)，必須掛上維修中警示牌，以防止他人誤動(dòng)作。
??????? 3、PM 維修中，如需占用走道或掀開(kāi)高架地板，工作人員必須將施工區(qū)域用圍
??????? 欄區(qū)隔，以防止危險(xiǎn)發(fā)生；掀開(kāi)高架地板作業(yè)完畢，地板蓋回后，必須確認(rèn)
??????? 地板間是否平整，以維持無(wú)塵室內(nèi)作業(yè)安全。
??????? 4、PM 維修時(shí)，若有接觸化學(xué)品或有害氣體之虞時(shí)，必須依照標(biāo)準(zhǔn)Procedure
??????? 做好安全防護(hù)措施，以保護(hù)本身及他人之安全。
??????? 5、PM 維修中如需要使用附屬設(shè)備，如工作臺(tái)車(chē)、House Vacuum 時(shí)必須擺放適
??????? 當(dāng)之安全位置，以防止人員絆倒產(chǎn)生危險(xiǎn)。
??????? 6、使用IPA、H2O2、DIW 須用小瓶罐裝，人員離開(kāi)時(shí)須放回鋼瓶座內(nèi)。
??????? 7、執(zhí)行維修保養(yǎng)工作時(shí)，務(wù)必特別注意機(jī)臺(tái)零件及工具銳角對(duì)人身可能造成之
??????? 傷害。
??????? (二)操作整齊注意事項(xiàng)：
??????? 1、任何操作均應(yīng)隨時(shí)保持高質(zhì)量之工作環(huán)境。
??????? 2、PM 維修拆下之零件，不可放置機(jī)臺(tái)或地面上，必須放置維修臺(tái)車(chē)上或指定
??????? 收納置物箱內(nèi)，螺絲須放入螺絲盒內(nèi)，如Parts 體積龐大須暫放地面，應(yīng)放
??????? 置安全，不得妨礙他人之作業(yè)安全。
??????? 3、PM 維修使用之工具須擺放整齊，人員離開(kāi)時(shí)必須放在工作臺(tái)車(chē)上或放回工
??????? 具箱內(nèi)。
??????? 4、PM 維修使用完之無(wú)塵布、棉花棒等，必須立即丟入垃圾筒及垃圾袋內(nèi)，以
??????? 保持工作環(huán)境之整潔。
??????? 5、搬運(yùn)物品時(shí)必須輕提輕放，不可用拖拉方式移動(dòng)物品。
??????? 6、PM 維修時(shí)，禁止使用貨架臺(tái)車(chē)暫放零件或運(yùn)送零件，以維護(hù)貨架臺(tái)車(chē)之清
??????? 潔，PM 工作臺(tái)車(chē)使用完畢，必須保持干凈清潔，放置于規(guī)定地方。
??????? 7、House Vacuum 使用完畢后，須check house outlet 之銅蓋是否蓋上及密合，
??????? 使用電源插座完畢后，須check 電源座是否推回地板面，蓋子是否蓋上。
??????? 8、工作中或暫時(shí)休息，皆不可坐于桌面及地板或腳踏板上。
??????? 9、工作完成后，請(qǐng)檢視周遭環(huán)境確保整齊清潔。