本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)的術(shù)語(yǔ)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等，還對(duì)供貨作了規(guī)定。