本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境控制靜電的術(shù)語(yǔ)和定義、靜電控制、培訓(xùn)與規(guī)范等要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的靜電控制。
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