本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直徑300mm、p型、<100>晶向、電阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 規(guī)格的硅單晶拋光片的術(shù)語(yǔ)和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢測(cè)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于直徑300mm 直拉單晶磨削片經(jīng)雙面拋光制備的硅單晶拋光片,產(chǎn)品主要用于滿足集成電路IC用線寬90nm 技術(shù)需求的襯底片。