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××項(xiàng)目安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告模版(生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元)

  
評(píng)論: 更新日期:2008年03月07日

  生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元

  1 支援車間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表5.2.1-3所示:

5.2.1-3 危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表

序號(hào)

儲(chǔ)存場(chǎng)

所名稱

儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱

氣柜數(shù)量(個(gè))

安全設(shè)施

1

毒性氣

體室

砷化氫混合氣(AsH3/H2

1

10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送,內(nèi)套管為真空,設(shè)偵測(cè)器,介質(zhì)泄漏時(shí),報(bào)警。

1.5%鍺烷/氫氣(GeH4/H2

1

1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓?/SPAN>PH3/N2

1

5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓?/SPAN>PH3/N2

2

2

易燃?xì)怏w室

氨氣(NH3

8

10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)(酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。

一氧化碳(CO

3

二氯硅烷(SiH2Cl2

1

二氟甲烷(CH2F2

1

50ppm乙硼烷/氫氣(B2H6/H2

1

氟甲烷(CH3F

2

100ppmB2H6/N2

1

5% B2H6/N2

2

100ppm乙硼烷/氫氣(B2H6/H2

2

10%氨氣/氮?dú)?/SPAN>

1

C4F6

1

3

腐蝕性氣體室

Cl2

2

10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3)、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。

ClF3

2

HBr

2

HCl

11

SiF4

1

4

氧化氣體室

NF3

9

10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。

N2O

7

30%O2/He

6

5

惰性氣體室

1.2%He+N2

1

10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。

C4F8

2

CHF3

1

C2F6

1

CO2

1

CF4

2

CHF3

2

SF6

2

He

1

4%H2/N2

1

6

酸室

HCl CDM

1

設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置。

BOE CDM

1

HF CDM

2

NOE CDM

1

HNO3 CDM

1

H3PO4 CDM

1

H2SO4 CDM

2

HF100:1 CDM

1

7

Base Room

(堿室)

NH4OH

1

設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器,PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。

H2O2

2

SD-1

1

8

溶劑室

ACT940 CDM

1

設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。

EG-01

1

EBR10A

1

1PA-01CDM

1


  2 危險(xiǎn)危害辨識(shí)與分析

  1、火災(zāi)、爆炸
  各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過程中,一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作,造成物料泄漏,如作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)通風(fēng)不良,與空氣混和達(dá)到爆炸極限,遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸;
  2、 腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷
  清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存、使用場(chǎng)所內(nèi),盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷,制造質(zhì)量差,搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻,造成物料泄漏,如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會(huì)引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷;同時(shí)各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏,人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體,均會(huì)造成人員中毒。
  3、 物理爆炸
  各類壓力容器(包括氣瓶)、管道,如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì)不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等,可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸,造成人員傷亡,設(shè)備損壞。
  4、 高溫灼傷
  高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面,保溫、隔熱效果不好,易形成燙傷事故。
  5、 激光、紅外線輻射灼傷
  在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上,如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng),致使光源直射觀察者眼睛,將會(huì)造成眼灼傷。
  6、 高頻、噪聲傷害
  在離子植入?yún)^(qū),使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備;清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備,如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會(huì)對(duì)人員造成物理因素傷害。
  7、 高處墜落
  當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對(duì)基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí),若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善,作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí),稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。
  8 觸電
  各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效,線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。
  9、 電氣火災(zāi)
  電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效,線路絕緣損壞、短路,以及防爆場(chǎng)所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。
  10、雷電危害
  建筑物防雷設(shè)計(jì)不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求,當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時(shí),會(huì)產(chǎn)生雷電過電壓,在雷電波及的范圍內(nèi)會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸,造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。
  11、靜電危害
  如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)(如:光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲(chǔ)藏間等)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范,在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷,不能及時(shí)消除,隨著時(shí)間延續(xù),靜電荷將越聚越多,靜電電壓逐漸升高,當(dāng)達(dá)到一定程度時(shí),發(fā)生放電火花;或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等,均可能引燃易燃易爆物質(zhì),造成火災(zāi)、爆炸。

  3 安全檢查表
  依據(jù)GBJ16-87《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(2001版)、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、GBJ19-87《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》(2001年版)、GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB5083-99《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、GB12801-91《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全標(biāo)志》、GB15603-95《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國務(wù)院令第344號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表,查驗(yàn)結(jié)果詳見表5.2.3-1。

5.2.3-1 生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用單元安全檢查表

序號(hào)

檢查項(xiàng)目及內(nèi)容

依據(jù)法規(guī)

檢查結(jié)果

備注

1

建筑結(jié)構(gòu)及平面布置

1.1

生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

GBJ16-87

3.2.1

均為二級(jí)。

1.2

若多層生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)為二級(jí),其防火分區(qū)最大允許占地面積為4000m2。(因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng),防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍)

GBJ16-87

3.2.1

占地面積4000m2

1.3

有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等)宜獨(dú)立設(shè)置。

GBJ16-87

3.4.1

單獨(dú)設(shè)置。

1.4

有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等)應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施,泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。

GBJ16-87

3.4.2

硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無泄壓。

1.5

硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值(m2/m3)宜采用0.050.22,體積超過1000m3的建筑,不宜小于0.03

GBJ16-87

3.4.3

0.3。

1.6

生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等可能散發(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。

GBJ16-87

3.4.6

環(huán)氧地面。

1.7

有爆炸危險(xiǎn)的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置,應(yīng)采用一、二級(jí)耐火等級(jí)建筑物并應(yīng)采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護(hù)墻隔開并設(shè)置直通室外或疏散樓梯的安全出口。

GBJ16-87

3.4.8

1.8

廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度7度設(shè)防要求,框架抗震等級(jí)二級(jí)要求。

GB50187-93

2.0.4

7度設(shè)防。

1.9

芯片光刻等對(duì)潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房,宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè),并在四周留有綠化場(chǎng)地。

SJ30002-92

2.3.6

1.10

易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房內(nèi),或設(shè)在多層廠房的頂層端部。

SJ30002-92

3.6.12

×

除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外,均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。

2

潔凈廠房

2.1

潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。

GB50073-2001

4.3.1

分別設(shè)置人員、物料凈化室。

2.2

潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于70dbA)。

GB50073-2001

4.4.1

65dB

2.3

潔凈實(shí)驗(yàn)室耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

GB50073-2001

5.2.1

二級(jí)。

2.4

潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體,且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。

GB50073-2001

5.2.4

2.5

潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。

GB50073-2001

5.2.5

用防火墻和防火門分隔。

2.6

潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟,并加閉門器。

GB50073-2001

5.2.9

2.7

潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng),潔凈室事故排風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)采用1020/h,事故排風(fēng)宜由常用排風(fēng)系統(tǒng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證,事故排風(fēng)裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點(diǎn),事故排風(fēng)應(yīng)與報(bào)警裝置聯(lián)鎖。

SJ30002-92

7.0.10

設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng),常開;特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開關(guān),設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào)警。

3

作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置

3.1

作業(yè)環(huán)境

3.1.1

車間內(nèi)人工運(yùn)輸通道寬度必須≥1.0m。

SJ30002-92

3.1.3

2.5m

3.1.2

設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。

SJ30002-92

3.1.4

3.1.3

潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明,并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標(biāo)志。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。

SJ30002-92

7.0.14

設(shè)應(yīng)急照明、疏散標(biāo)志。

3.1.4

易燃易爆廠房的人員疏散,通道應(yīng)保持暢通,并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明,疏散指示標(biāo)志及排煙措施。

SJ30002-92

3.6.13

3.1.5

鋼梯、平臺(tái)所設(shè)置的護(hù)欄的設(shè)計(jì)應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

GB4053.13-93

GB4053.4-83

2.5.2

×

廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。

3.2

電子、化學(xué)工藝安全

3.2.1

高能離子注入機(jī)應(yīng)設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi),并應(yīng)有符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求的接地及相應(yīng)的電磁波、X射線防護(hù)措施。

SJ30002-92

3.2.3

設(shè)置于人流最少的東側(cè),采取隔離防護(hù)措施。

3.2.2

聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動(dòng)裝置或聯(lián)鎖裝置,危險(xiǎn)部位應(yīng)設(shè)置醒目的警告標(biāo)志;散發(fā)毒氣的工序應(yīng)設(shè)置排風(fēng);帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動(dòng)保護(hù)裝置。

SJ30002-92

3.2.5

設(shè)置緊急制動(dòng),設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng),帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。

3.2.3

使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng),使用有毒溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施;凡使用電氣的化學(xué)清洗設(shè)備,應(yīng)有良好的接地。

SJ30002-92

3.3.1

均設(shè)置。

3.2.4

生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。

SJ30002-92

3.3.6

設(shè)置洗眼、淋浴器。

3.2.5

對(duì)于存在激光輻射設(shè)備,應(yīng)采取屏蔽等防護(hù)措施。

SJ30002-92

9.1

屏蔽光源保護(hù)措施。

3.3

防火、防爆、防中毒

3.3.1

輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴(yán)密,管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措施。

SJ30002-92

3.6.8

管道系統(tǒng)通過管架接地。

3.3.2

易燃工作間的設(shè)備、電氣線路,開關(guān)、燈具等,均應(yīng)采用相應(yīng)等級(jí)的防爆型產(chǎn)品。

SJ30002-92

3.6.11

3.3.3

電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與PE線可靠連接。

GB50169-92

2.1.11

3.3.4

氫氣、CO和天然氣管道不能通過煙道、通風(fēng)管、配電室和易燃易爆物倉庫。

GB50028-93

7.2.10

3.3.5

管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。

SJ30002-92

2.9.2

3.3.6

對(duì)有害氣體、易燃?xì)怏w的作業(yè)區(qū),應(yīng)采取切實(shí)有效的防護(hù)措施,提高自動(dòng)化,采取密閉、隔離生產(chǎn)。

SJ30002-92

2.4.5

隔離操作、密閉生產(chǎn)。

3.3.7

車間空氣中有害物質(zhì)的濃度,必須符合《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》的規(guī)定。

SJ30002-92

2.1.5

已做監(jiān)測(cè),數(shù)據(jù)暫不能提供。

3.3.8

輸送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蝕性氣體或液體的管道、管件、閥門,其材質(zhì)、連接方法,必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防靜電等相應(yīng)措施。

SJ30002-92

2.4.11

雙套管輸送,防腐內(nèi)涂層。

3.3.9

危險(xiǎn)相同的生產(chǎn),宜集中或相鄰布置

SJ30002-92

2.5.3

3.3.10

對(duì)于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房,廠房內(nèi)部應(yīng)采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。

SJ30002-92

2.6.5

防泄漏收集采用二次容器,1.1倍容積。

3.3.11

車間內(nèi)各種明溝,應(yīng)加設(shè)蓋板。

SJ30002-92

2.6.10

3.3.12

生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染,易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì),潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。

SJ30002-92

2.7.2

設(shè)洗衣房。

3.3.13

凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。

SJ30002-92

6.3.12

3.3.14

有下列情況之一時(shí),排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)系統(tǒng):

混合后能引起燃燒或爆炸時(shí);

1)混合后能引起燃燒、爆炸時(shí);

2)易燃易爆工作間排風(fēng)與一般工作間排風(fēng)。

SJ30002-92

3.6.9

均設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)。

3.3.15

氫氣、煤氣管道,在末端、最高點(diǎn)等處應(yīng)設(shè)置放散管,放散管應(yīng)高出屋頂;放散管上應(yīng)設(shè)阻火器。

SJ30002-92

4.1.6

3.3.16

潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。

SJ30002-92

7.0.18

雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用ATC玻璃鋼涂層。

4

危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、輸送與管理

4.1

危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲(chǔ)存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學(xué)危險(xiǎn)品,嚴(yán)禁混放在一起。

SJ30002-92

3.8.3

分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。支援車間分功能區(qū)。

4.2

輸送危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等,應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)介質(zhì),采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強(qiáng)的液體管道,不應(yīng)敷設(shè)在其它管道的上方,并不宜連接埋地敷設(shè)。

SJ30002-92

3.8.7

雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測(cè)。

4.3

儲(chǔ)存有較強(qiáng)腐蝕性液體的設(shè)備應(yīng)設(shè)置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。

SJ30002-92

3.8.8

全封閉輸送機(jī)組,多種報(bào)警聯(lián)鎖裝置;周圍設(shè)置圍堰。

4.4

對(duì)于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處,應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。

SJ30002-92

3.8.9

全封閉PLC程控泵組無泄漏。泵為全封閉型

4.5

輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時(shí),應(yīng)加以收集或處理,不得任意排放。

SJ30002-92

3.8.10

收集并加以洗滌。

4.6

易燃、易爆的車間,應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。

SJ30002-92

3.8.11

硅烷室、易燃室符合要求。

4.7

有爆炸危險(xiǎn)的房間(如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等),應(yīng)設(shè)置泄壓措施,安全出口不應(yīng)少于2個(gè)。其中一個(gè)直接對(duì)外,不超過100m2的房間可設(shè)一個(gè)出口。

GBJ16-87

3.5.1

硅烷室設(shè)泄壓其余無,安全出口均不少于2個(gè)。

4.8

危險(xiǎn)化學(xué)品使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置通訊、報(bào)警裝置,并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例

18

設(shè)置應(yīng)急通訊、自動(dòng)、手動(dòng)報(bào)警裝置。

4.9

應(yīng)在危險(xiǎn)化學(xué)品作業(yè)場(chǎng)所設(shè)置急救設(shè)施,并提供應(yīng)急處理的方法。

工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定

17

設(shè)置應(yīng)急用品柜,提供處理方法。

4.10

使用單位應(yīng)對(duì)盛裝、貯存危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備,采用顏色、標(biāo)牌、標(biāo)簽等形式,標(biāo)明其危險(xiǎn)性。

工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定

19

儲(chǔ)存柜上均有標(biāo)識(shí)。

4.11

丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存,氧化劑應(yīng)單獨(dú)存放。

GB15603-1995

6.7

單獨(dú)存放。

4.12

廢棄、過期的化學(xué)危險(xiǎn)品及使用過的包裝容器必須妥善保管,不得隨意拋棄,依據(jù)危險(xiǎn)廢棄物的處置標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行處置。

關(guān)于加強(qiáng)化學(xué)危險(xiǎn)物品管理的通知

4.13

使用危險(xiǎn)化學(xué)品,在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù),并取得使用許可證。

市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關(guān)文件要求

正申辦。

4.14

有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識(shí)、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn),經(jīng)考核合格,方可上崗作業(yè)。

《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》

第四條

已組織,尚未培訓(xùn)。

5

有毒氣體控制裝置

5.1

砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜,離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點(diǎn),應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。

SJ30002-92

6.3.16

6.3.23

5.2

使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間,宜設(shè)報(bào)警裝置及事故排風(fēng)。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖,不工作,亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。

SJ30002-92

6.2.9

設(shè)置報(bào)警聯(lián)鎖裝置及事故排風(fēng)。

6

電氣

6.1

電氣裝置采用接地故障保護(hù)時(shí),應(yīng)做總等電位聯(lián)接。

SJ30002-92

12.2.4

等電位連接。

6.2

檢測(cè)和控制儀表的電源和氣源,停電或停氣可能使生產(chǎn)、動(dòng)力設(shè)備造成重大事故時(shí),必須有備用電、氣源。備用時(shí)應(yīng)根據(jù)工藝、動(dòng)力要求確定,一般不小于15-30分鐘。

SJ30002-92

12.2.8

設(shè)發(fā)電機(jī)3臺(tái),壓縮空氣備用氣源≥30min。

6.3

停電或停氣時(shí),調(diào)節(jié)閥的閥位應(yīng)處于安全位置。

SJ30002-92

12.2.9

6.4

消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動(dòng)防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備,應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路,并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí),應(yīng)仍保證消防用電。其配電設(shè)備應(yīng)有明顯標(biāo)志。

SJ30002-92

12.2.10

單獨(dú)設(shè)置供電回路,UPSEPS、SP電源,

6.5

在有爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi),敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管,在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞,應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。

SJ30002-92

12.2.16

防火水泥堵塞。

6.6

電氣設(shè)備線路必須安全可靠,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。

SJ30002-92

3.2.7

線路穿管敷設(shè),燈具有防護(hù)罩。

6.7

在火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi),可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。

SJ30002-92

12.5.4

設(shè)備、管道均采取靜電接地措施。

6.8

在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置;并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。

HG20571-95

3.2.10

設(shè)消除靜電離子發(fā)生器。

7

消防、報(bào)警設(shè)施

7.1

建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

GBJ16-87

8.7.7

7.2

潔凈室及技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。

SJ30002-92

7.0.11

7.3

生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警檢測(cè)系統(tǒng)。

SJ30002-92

7.0.15

GB12801-91

6.3.1

7.4

儲(chǔ)存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃?xì)怏w室等應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置、事故排風(fēng)及防爆設(shè)施。

GBJ16-87

10.3.2

SJ30002-92

3.6.2

設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)。

7.5

潔凈廠房、有毒、易燃?xì)馄块g等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報(bào)警裝置。

SJ30002-92

12.6.3

設(shè)置不同類型報(bào)警裝置。

8

氣瓶安全使用

8.1

使用氣瓶應(yīng):

采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品,不使用超期未檢的氣瓶。

必須到已辦理充裝注冊(cè)的單位或經(jīng)銷注冊(cè)的單位購氣。

氣瓶使用前應(yīng)進(jìn)行安全狀況檢查,對(duì)盛裝氣體進(jìn)行確認(rèn)。

氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火,應(yīng)保證氣瓶干燥。

氣瓶立放時(shí),應(yīng)采取防止傾倒的措施;

夏季應(yīng)防止爆曬;

嚴(yán)禁敲擊、碰撞;

嚴(yán)禁在氣瓶上進(jìn)行電焊引?。?/SPAN>

瓶內(nèi)氣體不得用盡,必須留有剩余壓力或重量,氫氣瓶剩余壓力應(yīng)不小于0.05Mpa

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

79

各項(xiàng)措施齊備,剩余壓力小于0.05Mpa自動(dòng)切換。

8.2

磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶,必須放置在設(shè)有排風(fēng)防護(hù)裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時(shí),應(yīng)有自動(dòng)定時(shí)排風(fēng)系統(tǒng)。

SJ30002-92

6.2.8

長期通風(fēng)。

9

安全標(biāo)志

9.1

凡容易發(fā)生事故危及安全的場(chǎng)所,應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志,必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。

SJ30002-92

2.9.1

機(jī)臺(tái)、氣柜等均設(shè)置安全標(biāo)志。

9.2

廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道,應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。

SJ30002-92

2.9.3

9.3

安全標(biāo)志的涂色,應(yīng)符合國家現(xiàn)行《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

GB2893-82

GB2894-1996

9.4

工業(yè)管路基本識(shí)別色應(yīng)符合:

綠色:水

鋁色:蒸氣

棕色:易燃液體

黃褐色:氣態(tài)或液態(tài)氣體(空氣、氧氣除外)

紫色:酸或堿

淺藍(lán)色:空氣或氧氣

黑色:其它液體。

GB7231-87

未完全執(zhí)行本國標(biāo)。

  4 危險(xiǎn)源綜合分析與評(píng)價(jià)

  1、 單元的主要危險(xiǎn)因素
  SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜,同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體,按照GBJ16-87“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類”為甲類,因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素,其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。
  2 已采取的主要安全技術(shù)、管理措施
  針對(duì)上述危險(xiǎn)有害因素,為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運(yùn)行,企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有:
  1 潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級(jí)符合國家相關(guān)規(guī)范要求;
  2 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風(fēng),同時(shí)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警裝置、火災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明;
  3 將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi),硅烷單獨(dú)設(shè)置在獨(dú)立的建筑物內(nèi);
  4 所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi),氣柜帶有閥門盒和閥門屏,氣柜內(nèi)配備自動(dòng)的氮?dú)鈨艋到y(tǒng)。
  5 有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測(cè)點(diǎn),所有探頭具有高敏度報(bào)警功能;
  6 酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮?dú)獬涮钊萜?,利用雙層管道輸送至使用點(diǎn),在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測(cè)報(bào)警探頭,所有化學(xué)品盛裝容器、使用點(diǎn)均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng);
  7 在危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存場(chǎng)所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置;
  8 本單元消防、報(bào)警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求。
  3、 問題與建議
  為了保證系統(tǒng)能夠安全運(yùn)行,廠方采取了一些安全措施,基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對(duì)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安全現(xiàn)狀考察與分析,還存在一些不符合規(guī)定的安全問題,具體問題和建議如下:
  1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施,并且未按SJ30002-92標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層,因此需采取有效措施,保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。
  2) 廢液收集罐上的平臺(tái)護(hù)欄需按標(biāo)準(zhǔn)要求修復(fù);
  3) 應(yīng)按GB7231-87相關(guān)要求對(duì)工業(yè)管路涂敷基本識(shí)別色。

  5 驗(yàn)收評(píng)價(jià)結(jié)論

  SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險(xiǎn)因素是各類可燃?xì)怏w、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設(shè)計(jì)、施工以及各類危險(xiǎn)化學(xué)品安全使用、儲(chǔ)存情況基本符合標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求;項(xiàng)目本質(zhì)安全程度較高,各項(xiàng)安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程,可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)。

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