生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元
1 支援車間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表5.2.1-3所示:
表5.2.1-3 危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表
序號(hào) |
儲(chǔ)存場(chǎng) 所名稱 |
儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 |
氣柜數(shù)量(個(gè)) |
安全設(shè)施 |
1 |
毒性氣 體室 |
砷化氫混合氣(AsH3/H2) |
1 |
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送,內(nèi)套管為真空,設(shè)偵測(cè)器,介質(zhì)泄漏時(shí),報(bào)警。 |
1.5%鍺烷/氫氣(GeH4/H2) |
1 | |||
1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓?/SPAN>PH3/N2) |
1 | |||
5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓?/SPAN>PH3/N2) |
2 | |||
2 |
易燃?xì)怏w室 |
氨氣(NH3) |
8 |
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)(酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 |
一氧化碳(CO) |
3 | |||
二氯硅烷(SiH2Cl2) |
1 | |||
二氟甲烷(CH2F2) |
1 | |||
50ppm乙硼烷/氫氣(B2H6/H2) |
1 | |||
氟甲烷(CH3F) |
2 | |||
100ppmB2H6/N2 |
1 | |||
5% B2H6/N2 |
2 | |||
100ppm乙硼烷/氫氣(B2H6/H2) |
2 | |||
10%氨氣/氮?dú)?/SPAN> |
1 | |||
C4F6 |
1 | |||
3 |
腐蝕性氣體室 |
Cl2 |
2 |
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3無)、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 |
ClF3 |
2 | |||
HBr |
2 | |||
HCl |
11 | |||
SiF4 |
1 | |||
4 |
氧化氣體室 |
NF3 |
9 |
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 |
N2O |
7 | |||
30%O2/He |
6 | |||
5 |
惰性氣體室 |
1.2%He+N2 |
1 |
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺?/SPAN>TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 |
C4F8 |
2 | |||
CHF3 |
1 | |||
C2F6 |
1 | |||
CO2 |
1 | |||
CF4 |
2 | |||
CHF3 |
2 | |||
SF6 |
2 | |||
He |
1 | |||
4%H2/N2 |
1 | |||
6 |
酸室 |
HCl CDM |
1 |
設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置。 |
BOE CDM |
1 | |||
HF CDM |
2 | |||
NOE CDM |
1 | |||
HNO3 CDM |
1 | |||
H3PO4 CDM |
1 | |||
H2SO4 CDM |
2 | |||
HF100:1 CDM |
1 | |||
7 |
Base Room (堿室) |
NH4OH |
1 |
設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器,PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。 |
H2O2 |
2 | |||
SD-1 |
1 | |||
8 |
溶劑室 |
ACT940 CDM |
1 |
設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。 |
EG-01 |
1 | |||
EBR10A |
1 | |||
1PA-01CDM |
1 |
2 危險(xiǎn)危害辨識(shí)與分析
1、火災(zāi)、爆炸
各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過程中,一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作,造成物料泄漏,如作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)通風(fēng)不良,與空氣混和達(dá)到爆炸極限,遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸;
2、 腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷
清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存、使用場(chǎng)所內(nèi),盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷,制造質(zhì)量差,搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻,造成物料泄漏,如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會(huì)引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷;同時(shí)各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏,人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體,均會(huì)造成人員中毒。
3、 物理爆炸
各類壓力容器(包括氣瓶)、管道,如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì)不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等,可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸,造成人員傷亡,設(shè)備損壞。
4、 高溫灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面,保溫、隔熱效果不好,易形成燙傷事故。
5、 激光、紅外線輻射灼傷
在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上,如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng),致使光源直射觀察者眼睛,將會(huì)造成眼灼傷。
6、 高頻、噪聲傷害
在離子植入?yún)^(qū),使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備;清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備,如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會(huì)對(duì)人員造成物理因素傷害。
7、 高處墜落
當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對(duì)基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí),若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善,作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí),稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。
8、 觸電
各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效,線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。
9、 電氣火災(zāi)
電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效,線路絕緣損壞、短路,以及防爆場(chǎng)所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。
10、雷電危害
建筑物防雷設(shè)計(jì)不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求,當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時(shí),會(huì)產(chǎn)生雷電過電壓,在雷電波及的范圍內(nèi)會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸,造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。
11、靜電危害
如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)(如:光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲(chǔ)藏間等)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范,在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷,不能及時(shí)消除,隨著時(shí)間延續(xù),靜電荷將越聚越多,靜電電壓逐漸升高,當(dāng)達(dá)到一定程度時(shí),發(fā)生放電火花;或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等,均可能引燃易燃易爆物質(zhì),造成火災(zāi)、爆炸。
3 安全檢查表
依據(jù)GBJ16-87《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(2001版)、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、GBJ19-87《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》(2001年版)、GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB5083-99《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、GB12801-91《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全標(biāo)志》、GB15603-95《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國務(wù)院令第344號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表,查驗(yàn)結(jié)果詳見表5.2.3-1。
表5.2.3-1 生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用單元安全檢查表
序號(hào) |
檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 |
依據(jù)法規(guī) |
檢查結(jié)果 |
備注 |
1 |
建筑結(jié)構(gòu)及平面布置 |
|
|
|
1.1 |
生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。 |
GBJ16-87 3.2.1 |
√ |
均為二級(jí)。 |
1.2 |
若多層生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)為二級(jí),其防火分區(qū)最大允許占地面積為4000m2。(因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng),防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍) |
GBJ16-87 3.2.1 |
√ |
占地面積4000m2。 |
1.3 |
有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等)宜獨(dú)立設(shè)置。 |
GBJ16-87 3.4.1 |
√ |
單獨(dú)設(shè)置。 |
1.4 |
有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房(生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等)應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施,泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。 |
GBJ16-87 3.4.2 |
∽ |
硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無泄壓。 |
1.5 |
硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值(m2/m3)宜采用0.05~0.22,體積超過1000m3的建筑,不宜小于0.03。 |
GBJ16-87 3.4.3 |
√ |
約0.3。 |
1.6 |
生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等可能散發(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。 |
GBJ16-87 3.4.6 |
√ |
環(huán)氧地面。 |
1.7 |
有爆炸危險(xiǎn)的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置,應(yīng)采用一、二級(jí)耐火等級(jí)建筑物并應(yīng)采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護(hù)墻隔開并設(shè)置直通室外或疏散樓梯的安全出口。 |
GBJ16-87 3.4.8 |
√ |
|
1.8 |
廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度7度設(shè)防要求,框架抗震等級(jí)二級(jí)要求。 |
GB50187-93 2.0.4 |
√ |
7度設(shè)防。 |
1.9 |
芯片光刻等對(duì)潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房,宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè),并在四周留有綠化場(chǎng)地。 |
SJ30002-92 2.3.6 |
√ |
|
1.10 |
易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房內(nèi),或設(shè)在多層廠房的頂層端部。 |
SJ30002-92 3.6.12 |
× |
除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外,均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。 |
2 |
潔凈廠房 |
|
|
|
2.1 |
潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。 |
GB50073-2001 4.3.1 |
√ |
分別設(shè)置人員、物料凈化室。 |
2.2 |
潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于70db(A)。 |
GB50073-2001 4.4.1 |
√ |
≤65dB。 |
2.3 |
潔凈實(shí)驗(yàn)室耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。 |
GB50073-2001 5.2.1 |
√ |
二級(jí)。 |
2.4 |
潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體,且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。 |
GB50073-2001 5.2.4 |
√ |
|
2.5 |
潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。 |
GB50073-2001 5.2.5 |
√ |
用防火墻和防火門分隔。 |
2.6 |
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟,并加閉門器。 |
GB50073-2001 5.2.9 |
√ |
|
2.7 |
潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng),潔凈室事故排風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)采用10~20次/h,事故排風(fēng)宜由常用排風(fēng)系統(tǒng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證,事故排風(fēng)裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點(diǎn),事故排風(fēng)應(yīng)與報(bào)警裝置聯(lián)鎖。 |
SJ30002-92 7.0.10 |
√ |
設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng),常開;特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開關(guān),設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào)警。 |
3 |
作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置 |
|
|
|
3.1 |
作業(yè)環(huán)境 |
|
|
|
3.1.1 |
車間內(nèi)人工運(yùn)輸通道寬度必須≥1.0m。 |
SJ30002-92 3.1.3 |
√ |
2.5m |
3.1.2 |
設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。 |
SJ30002-92 3.1.4 |
√ |
|
3.1.3 |
潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明,并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標(biāo)志。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。 |
SJ30002-92 7.0.14 |
√ |
設(shè)應(yīng)急照明、疏散標(biāo)志。 |
3.1.4 |
易燃易爆廠房的人員疏散,通道應(yīng)保持暢通,并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明,疏散指示標(biāo)志及排煙措施。 |
SJ30002-92 3.6.13 |
√ |
|
3.1.5 |
鋼梯、平臺(tái)所設(shè)置的護(hù)欄的設(shè)計(jì)應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。 |
GB4053.1~3-93 GB4053.4-83 第2.5.2條 |
× |
廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。 |
3.2 |
電子、化學(xué)工藝安全 |
|
|
|
3.2.1 |
高能離子注入機(jī)應(yīng)設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi),并應(yīng)有符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求的接地及相應(yīng)的電磁波、X射線防護(hù)措施。 |
SJ30002-92 3.2.3 |
√ |
設(shè)置于人流最少的東側(cè),采取隔離防護(hù)措施。 |
3.2.2 |
聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動(dòng)裝置或聯(lián)鎖裝置,危險(xiǎn)部位應(yīng)設(shè)置醒目的警告標(biāo)志;散發(fā)毒氣的工序應(yīng)設(shè)置排風(fēng);帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動(dòng)保護(hù)裝置。 |
SJ30002-92 3.2.5 |
√ |
設(shè)置緊急制動(dòng),設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng),帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。 |
3.2.3 |
使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng),使用有毒溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施;凡使用電氣的化學(xué)清洗設(shè)備,應(yīng)有良好的接地。 |
SJ30002-92 3.3.1 |
√ |
均設(shè)置。 |
3.2.4 |
生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。 |
SJ30002-92 3.3.6 |
√ |
設(shè)置洗眼、淋浴器。 |
3.2.5 |
對(duì)于存在激光輻射設(shè)備,應(yīng)采取屏蔽等防護(hù)措施。 |
SJ30002-92 9.1 |
√ |
屏蔽光源保護(hù)措施。 |
3.3 |
防火、防爆、防中毒 |
|
|
|
3.3.1 |
輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴(yán)密,管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措施。 |
SJ30002-92 3.6.8 |
√ |
管道系統(tǒng)通過管架接地。 |
3.3.2 |
易燃工作間的設(shè)備、電氣線路,開關(guān)、燈具等,均應(yīng)采用相應(yīng)等級(jí)的防爆型產(chǎn)品。 |
SJ30002-92 3.6.11 |
√ |
|
3.3.3 |
電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與PE線可靠連接。 |
GB50169-92 2.1.11 |
√ |
|
3.3.4 |
氫氣、CO和天然氣管道不能通過煙道、通風(fēng)管、配電室和易燃易爆物倉庫。 |
GB50028-93 7.2.10 |
√ |
|
3.3.5 |
管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。 |
SJ30002-92 2.9.2 |
√ |
|
3.3.6 |
對(duì)有害氣體、易燃?xì)怏w的作業(yè)區(qū),應(yīng)采取切實(shí)有效的防護(hù)措施,提高自動(dòng)化,采取密閉、隔離生產(chǎn)。 |
SJ30002-92 2.4.5 |
√ |
隔離操作、密閉生產(chǎn)。 |
3.3.7 |
車間空氣中有害物質(zhì)的濃度,必須符合《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》的規(guī)定。 |
SJ30002-92 2.1.5 |
∽ |
已做監(jiān)測(cè),數(shù)據(jù)暫不能提供。 |
3.3.8 |
輸送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蝕性氣體或液體的管道、管件、閥門,其材質(zhì)、連接方法,必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防靜電等相應(yīng)措施。 |
SJ30002-92 2.4.11 |
√ |
雙套管輸送,防腐內(nèi)涂層。 |
3.3.9 |
危險(xiǎn)相同的生產(chǎn),宜集中或相鄰布置 |
SJ30002-92 2.5.3 |
√ |
|
3.3.10 |
對(duì)于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房,廠房內(nèi)部應(yīng)采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。 |
SJ30002-92 2.6.5 |
√ |
防泄漏收集采用二次容器,1.1倍容積。 |
3.3.11 |
車間內(nèi)各種明溝,應(yīng)加設(shè)蓋板。 |
SJ30002-92 2.6.10 |
√ |
|
3.3.12 |
生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染,易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì),潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。 |
SJ30002-92 2.7.2 |
√ |
設(shè)洗衣房。 |
3.3.13 |
凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。 |
SJ30002-92 6.3.12 |
√ |
|
3.3.14 |
有下列情況之一時(shí),排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)系統(tǒng): 混合后能引起燃燒或爆炸時(shí); (1)混合后能引起燃燒、爆炸時(shí); (2)易燃易爆工作間排風(fēng)與一般工作間排風(fēng)。 |
SJ30002-92 3.6.9 |
√ |
均設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)。 |
3.3.15 |
氫氣、煤氣管道,在末端、最高點(diǎn)等處應(yīng)設(shè)置放散管,放散管應(yīng)高出屋頂;放散管上應(yīng)設(shè)阻火器。 |
SJ30002-92 4.1.6 |
√ |
|
3.3.16 |
潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。 |
SJ30002-92 7.0.18 |
√ |
雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用ATC玻璃鋼涂層。 |
4 |
危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、輸送與管理 |
|
|
|
4.1 |
危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲(chǔ)存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學(xué)危險(xiǎn)品,嚴(yán)禁混放在一起。 |
SJ30002-92 3.8.3 |
√ |
分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。支援車間分功能區(qū)。 |
4.2 |
輸送危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等,應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)介質(zhì),采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強(qiáng)的液體管道,不應(yīng)敷設(shè)在其它管道的上方,并不宜連接埋地敷設(shè)。 |
SJ30002-92 3.8.7 |
√ |
雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測(cè)。 |
4.3 |
儲(chǔ)存有較強(qiáng)腐蝕性液體的設(shè)備應(yīng)設(shè)置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。 |
SJ30002-92 3.8.8 |
√ |
全封閉輸送機(jī)組,多種報(bào)警聯(lián)鎖裝置;周圍設(shè)置圍堰。 |
4.4 |
對(duì)于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處,應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。 |
SJ30002-92 3.8.9 |
√ |
全封閉PLC程控泵組無泄漏。泵為全封閉型 |
4.5 |
輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時(shí),應(yīng)加以收集或處理,不得任意排放。 |
SJ30002-92 3.8.10 |
√ |
收集并加以洗滌。 |
4.6 |
易燃、易爆的車間,應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。 |
SJ30002-92 3.8.11 |
√ |
硅烷室、易燃室符合要求。 |
4.7 |
有爆炸危險(xiǎn)的房間(如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等),應(yīng)設(shè)置泄壓措施,安全出口不應(yīng)少于2個(gè)。其中一個(gè)直接對(duì)外,不超過100m2的房間可設(shè)一個(gè)出口。 |
GBJ16-87 3.5.1 |
∽ |
硅烷室設(shè)泄壓其余無,安全出口均不少于2個(gè)。 |
4.8 |
危險(xiǎn)化學(xué)品使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置通訊、報(bào)警裝置,并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。 |
危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例 第18條 |
√ |
設(shè)置應(yīng)急通訊、自動(dòng)、手動(dòng)報(bào)警裝置。 |
4.9 |
應(yīng)在危險(xiǎn)化學(xué)品作業(yè)場(chǎng)所設(shè)置急救設(shè)施,并提供應(yīng)急處理的方法。 |
工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第17條 |
√ |
設(shè)置應(yīng)急用品柜,提供處理方法。 |
4.10 |
使用單位應(yīng)對(duì)盛裝、貯存危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備,采用顏色、標(biāo)牌、標(biāo)簽等形式,標(biāo)明其危險(xiǎn)性。 |
工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第19條 |
√ |
儲(chǔ)存柜上均有標(biāo)識(shí)。 |
4.11 |
丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存,氧化劑應(yīng)單獨(dú)存放。 |
GB15603-1995 6.7 |
√ |
單獨(dú)存放。 |
4.12 |
廢棄、過期的化學(xué)危險(xiǎn)品及使用過的包裝容器必須妥善保管,不得隨意拋棄,依據(jù)危險(xiǎn)廢棄物的處置標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行處置。 |
關(guān)于加強(qiáng)化學(xué)危險(xiǎn)物品管理的通知 |
√ |
|
4.13 |
使用危險(xiǎn)化學(xué)品,在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù),并取得使用許可證。 |
市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關(guān)文件要求 |
∽ |
正申辦。 |
4.14 |
有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識(shí)、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn),經(jīng)考核合格,方可上崗作業(yè)。 |
《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》 第四條 |
∽ |
已組織,尚未培訓(xùn)。 |
5 |
有毒氣體控制裝置 |
|
|
|
5.1 |
砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜,離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點(diǎn),應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。 |
SJ30002-92 6.3.16 6.3.23 |
√ |
|
5.2 |
使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間,宜設(shè)報(bào)警裝置及事故排風(fēng)。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖,不工作,亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。 |
SJ30002-92 6.2.9 |
√ |
設(shè)置報(bào)警聯(lián)鎖裝置及事故排風(fēng)。 |
6 |
電氣 |
|
|
|
6.1 |
電氣裝置采用接地故障保護(hù)時(shí),應(yīng)做總等電位聯(lián)接。 |
SJ30002-92 12.2.4 |
√ |
等電位連接。 |
6.2 |
檢測(cè)和控制儀表的電源和氣源,停電或停氣可能使生產(chǎn)、動(dòng)力設(shè)備造成重大事故時(shí),必須有備用電、氣源。備用時(shí)應(yīng)根據(jù)工藝、動(dòng)力要求確定,一般不小于15-30分鐘。 |
SJ30002-92 12.2.8 |
√ |
設(shè)發(fā)電機(jī)3臺(tái),壓縮空氣備用氣源≥30min。 |
6.3 |
停電或停氣時(shí),調(diào)節(jié)閥的閥位應(yīng)處于安全位置。 |
SJ30002-92 12.2.9 |
√ |
|
6.4 |
消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動(dòng)防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備,應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路,并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí),應(yīng)仍保證消防用電。其配電設(shè)備應(yīng)有明顯標(biāo)志。 |
SJ30002-92 12.2.10 |
√ |
單獨(dú)設(shè)置供電回路,UPS、EPS、SP電源, |
6.5 |
在有爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi),敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管,在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞,應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。 |
SJ30002-92 12.2.16 |
√ |
防火水泥堵塞。 |
6.6 |
電氣設(shè)備線路必須安全可靠,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。 |
SJ30002-92 3.2.7 |
√ |
線路穿管敷設(shè),燈具有防護(hù)罩。 |
6.7 |
在火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi),可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。 |
SJ30002-92 12.5.4 |
√ |
設(shè)備、管道均采取靜電接地措施。 |
6.8 |
在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置;并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。 |
HG20571-95 3.2.10 |
√ |
設(shè)消除靜電離子發(fā)生器。 |
7 |
消防、報(bào)警設(shè)施 |
|
|
|
7.1 |
建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 |
GBJ16-87 8.7.7 |
√ |
|
7.2 |
潔凈室及技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。 |
SJ30002-92 7.0.11 |
√ |
|
7.3 |
生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警檢測(cè)系統(tǒng)。 |
SJ30002-92 7.0.15 GB12801-91 6.3.1 |
√ |
|
7.4 |
儲(chǔ)存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃?xì)怏w室等應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置、事故排風(fēng)及防爆設(shè)施。 |
GBJ16-87 10.3.2 SJ30002-92 3.6.2 |
√ |
設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)。 |
7.5 |
潔凈廠房、有毒、易燃?xì)馄块g等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報(bào)警裝置。 |
SJ30002-92 12.6.3 |
√ |
設(shè)置不同類型報(bào)警裝置。 |
8 |
氣瓶安全使用 |
|
|
|
8.1 |
使用氣瓶應(yīng): 采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品,不使用超期未檢的氣瓶。 必須到已辦理充裝注冊(cè)的單位或經(jīng)銷注冊(cè)的單位購氣。 氣瓶使用前應(yīng)進(jìn)行安全狀況檢查,對(duì)盛裝氣體進(jìn)行確認(rèn)。 氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火,應(yīng)保證氣瓶干燥。 氣瓶立放時(shí),應(yīng)采取防止傾倒的措施; 夏季應(yīng)防止爆曬; 嚴(yán)禁敲擊、碰撞; 嚴(yán)禁在氣瓶上進(jìn)行電焊引?。?/SPAN> 瓶內(nèi)氣體不得用盡,必須留有剩余壓力或重量,氫氣瓶剩余壓力應(yīng)不小于0.05Mpa。 |
氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 第79條 |
√ |
各項(xiàng)措施齊備,剩余壓力小于0.05Mpa自動(dòng)切換。 |
8.2 |
磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶,必須放置在設(shè)有排風(fēng)防護(hù)裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時(shí),應(yīng)有自動(dòng)定時(shí)排風(fēng)系統(tǒng)。 |
SJ30002-92 6.2.8 |
√ |
長期通風(fēng)。 |
9 |
安全標(biāo)志 |
|
|
|
9.1 |
凡容易發(fā)生事故危及安全的場(chǎng)所,應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志,必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。 |
SJ30002-92 2.9.1 |
√ |
機(jī)臺(tái)、氣柜等均設(shè)置安全標(biāo)志。 |
9.2 |
廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道,應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。 |
SJ30002-92 2.9.3 |
√ |
|
9.3 |
安全標(biāo)志的涂色,應(yīng)符合國家現(xiàn)行《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 |
GB2893-82 GB2894-1996 |
√ |
|
9.4 |
工業(yè)管路基本識(shí)別色應(yīng)符合: 綠色:水 鋁色:蒸氣 棕色:易燃液體 黃褐色:氣態(tài)或液態(tài)氣體(空氣、氧氣除外) 紫色:酸或堿 淺藍(lán)色:空氣或氧氣 黑色:其它液體。 |
GB7231-87 |
∽ |
未完全執(zhí)行本國標(biāo)。 |
4 危險(xiǎn)源綜合分析與評(píng)價(jià)
1、 單元的主要危險(xiǎn)因素
SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜,同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體,按照GBJ16-87“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類”為甲類,因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素,其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。
2、 已采取的主要安全技術(shù)、管理措施
針對(duì)上述危險(xiǎn)有害因素,為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運(yùn)行,企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有:
1) 潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級(jí)符合國家相關(guān)規(guī)范要求;
2) 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風(fēng),同時(shí)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警裝置、火災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明;
3) 將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi),硅烷單獨(dú)設(shè)置在獨(dú)立的建筑物內(nèi);
4) 所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi),氣柜帶有閥門盒和閥門屏,氣柜內(nèi)配備自動(dòng)的氮?dú)鈨艋到y(tǒng)。
5) 有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測(cè)點(diǎn),所有探頭具有高敏度報(bào)警功能;
6) 酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮?dú)獬涮钊萜?,利用雙層管道輸送至使用點(diǎn),在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測(cè)報(bào)警探頭,所有化學(xué)品盛裝容器、使用點(diǎn)均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng);
7) 在危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存場(chǎng)所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置;
8) 本單元消防、報(bào)警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求。
3、 問題與建議
為了保證系統(tǒng)能夠安全運(yùn)行,廠方采取了一些安全措施,基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對(duì)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安全現(xiàn)狀考察與分析,還存在一些不符合規(guī)定的安全問題,具體問題和建議如下:
1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施,并且未按SJ30002-92標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層,因此需采取有效措施,保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。
2) 廢液收集罐上的平臺(tái)護(hù)欄需按標(biāo)準(zhǔn)要求修復(fù);
3) 應(yīng)按GB7231-87相關(guān)要求對(duì)工業(yè)管路涂敷基本識(shí)別色。
5 驗(yàn)收評(píng)價(jià)結(jié)論
SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險(xiǎn)因素是各類可燃?xì)怏w、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設(shè)計(jì)、施工以及各類危險(xiǎn)化學(xué)品安全使用、儲(chǔ)存情況基本符合標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求;項(xiàng)目本質(zhì)安全程度較高,各項(xiàng)安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程,可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)。