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熱解吸氣相色譜法測(cè)定硅片表面的有機(jī)污染物

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 24577-2009
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
發(fā)布日期： 2009-10-30
實(shí)施日期： 2010-06-01
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更新日期： 2025年02月26日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片表面的有機(jī)污染物的定性和定量方法,采用氣質(zhì)聯(lián)用儀或磷選擇檢測(cè)器或者兩者同時(shí)采用。?

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